CAPTEUR D'IMAGES ECLAIRE PAR LA FACE ARRIERE PROTEGE DES RAYONS INFRAROUGES

• Main Author: WEHBE-ALAUSE HELENE
• Format: Patent
• Language: French
• Published: 18.02.2011
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

L'invention concerne un capteur d'images comprenant un premier substrat (40) ayant une première face destinée à être éclairée (64) et une seconde face du côté de laquelle est formée une pluralité de zones de photodétection (42), la seconde face étant recouverte d'un empilement comprenant des niveaux d'interconnexion associés aux zones de photodétection et un second substrat (56) dans lequel sont formés des vias traversants (66) en contact avec des éléments de connexion des niveaux d'interconnexion, au moins un dernier des niveaux d'interconnexion comportant des zones conductrices de blindage (54) en regard des zones de photodétection. The sensor has a semiconductor substrate (40) comprising a face to be illuminated with a light beam (64) and another face whose side is provided with photodetection zones (42). The latter face is covered with a stack (48) of interconnection levels having metal tracks (50) topped by an insulating material, and with another semiconductor substrate (56) connected to the material of last level. Through-vias (66) in contact with connection elements of the levels are formed on the latter substrate. One of the levels has conductive zones (54) i.e. shielding zones, opposite to the detection zones. An independent claim is also included for a method for forming a back-illuminated image sensor.