DETECTEUR D'HUMIDITE CAPACITIF A DIELECTRIQUE HYDROPHILE NANOPOREUX
La présente invention concerne la réalisation d'un dispositif capteur d'humidité de type capacitif, comprenant au moins un matériau diélectrique nanoporeux tel que du SiOCH ou du MSQ situé entre au moins une première électrode d'un condensateur et au moins une deuxième électrode du co...
Saved in:
Main Authors | , , , |
---|---|
Format | Patent |
Language | French |
Published |
22.01.2010
|
Subjects | |
Online Access | Get full text |
Cover
Loading…
Summary: | La présente invention concerne la réalisation d'un dispositif capteur d'humidité de type capacitif, comprenant au moins un matériau diélectrique nanoporeux tel que du SiOCH ou du MSQ situé entre au moins une première électrode d'un condensateur et au moins une deuxième électrode du condensateur. |
---|---|
Bibliography: | Application Number: FR20080054826 |