DETECTEUR D'HUMIDITE CAPACITIF A DIELECTRIQUE HYDROPHILE NANOPOREUX

La présente invention concerne la réalisation d'un dispositif capteur d'humidité de type capacitif, comprenant au moins un matériau diélectrique nanoporeux tel que du SiOCH ou du MSQ situé entre au moins une première électrode d'un condensateur et au moins une deuxième électrode du co...

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Main Authors DESLOGES BRIGITTE, DANEL JEAN SEBASTIEN, GRANGE HUBERT, JOUSSEAUME VINCENT
Format Patent
LanguageFrench
Published 22.01.2010
Subjects
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
CAPACITORS
CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES ORLIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE
ELECTRICITY
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES
MEASURING
NANOTECHNOLOGY
PERFORMING OPERATIONS
PHYSICS
SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES
TESTING
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Summary:La présente invention concerne la réalisation d'un dispositif capteur d'humidité de type capacitif, comprenant au moins un matériau diélectrique nanoporeux tel que du SiOCH ou du MSQ situé entre au moins une première électrode d'un condensateur et au moins une deuxième électrode du condensateur.
Bibliography:Application Number: FR20080054826