APPAREIL POUR LE TRAITEMENT PAR PLASMA DE CORPS CREUX

• Main Authors: VIROT THOMAS, MONTGOMERY DAVID BENJAMIN, ENFOUX YVES, BOULANGE LAURENCE
• Format: Patent
• Language: French
• Published: 02.10.2009
• Subjects: APPLYING LIQUIDS OR OTHER FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL; CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES, OR VITREOUSENAMELS; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROMTHE BODY; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; GLASS; HUMAN NECESSITIES; HYGIENE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS; MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; METALLURGY; MINERAL OR SLAG WOOL; PERFORMING OPERATIONS; PROCESSES FOR APPLYING LIQUIDS OR OTHER FLUENT MATERIALS TOSURFACES, IN GENERAL; SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS,MINERALS OR SLAGS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; TRANSPORTING

La présente invention concerne un appareil pour le traitement plasma des parois intérieures d'au moins un corps creux comprenant :- au moins un support (4) adapté aux dimensions extérieures du corps creux (12),- au moins deux électrodes métalliques (8),caractérisé en ce que ledit appareil comprend caractérisé en ce que ledit appareil comprend un couvercle (1) comportant des moyens (10) pour délivrer un gaz dans les volumes intérieurs desdits corps creux et un système pour le traitement plasma des parois intérieures d'au moins un corps creux, ledit système comprenant ledit appareil.Elle concerne également un procédé pour le revêtement par dépôt chimique en phase vapeur des parois intérieures d'au moins un corps creux mettant en oeuvre ledit système.Elle concerne également un corps creux présentant un ratio L/D supérieur ou égal à 3, de préférence supérieur ou égal à 5, L étant la longueur et D étant le diamètre dudit corps creux, ledit corps creux ayant un revêtement intérieur d'une épaisseur comprise entre 300 et 500 nm présentant des variations inférieures à 20%.