APPAREIL POUR LE TRAITEMENT PAR PLASMA DE CORPS CREUX
La présente invention concerne un appareil pour le traitement plasma des parois intérieures d'au moins un corps creux comprenant :- au moins un support (4) adapté aux dimensions extérieures du corps creux (12),- au moins deux électrodes métalliques (8),caractérisé en ce que ledit appareil compr...
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Format | Patent |
Language | French |
Published |
02.10.2009
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Summary: | La présente invention concerne un appareil pour le traitement plasma des parois intérieures d'au moins un corps creux comprenant :- au moins un support (4) adapté aux dimensions extérieures du corps creux (12),- au moins deux électrodes métalliques (8),caractérisé en ce que ledit appareil comprend caractérisé en ce que ledit appareil comprend un couvercle (1) comportant des moyens (10) pour délivrer un gaz dans les volumes intérieurs desdits corps creux et un système pour le traitement plasma des parois intérieures d'au moins un corps creux, ledit système comprenant ledit appareil.Elle concerne également un procédé pour le revêtement par dépôt chimique en phase vapeur des parois intérieures d'au moins un corps creux mettant en oeuvre ledit système.Elle concerne également un corps creux présentant un ratio L/D supérieur ou égal à 3, de préférence supérieur ou égal à 5, L étant la longueur et D étant le diamètre dudit corps creux, ledit corps creux ayant un revêtement intérieur d'une épaisseur comprise entre 300 et 500 nm présentant des variations inférieures à 20%. |
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Bibliography: | Application Number: FR20080051901 |