TRANSDUCTEUR A ULTRASONS MICRO-USINE CAPACITIF FABRIQUE AVEC MEMBRANE DE SILICIUM EPITAXIALE

Il est proposé une cellule de transducteur à ultrasons micro-usiné capacitif (cMUT) (10). La cellule cMUT (10) comprend une électrode inférieure (18). En outre, la cellule cMUT (10) comprend une membrane (22) placée adjacente à l'électrode inférieure (18) de manière à former un espacement ayant...

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Main Authors SMITH LOWELL SCOTT, TIAN WEI CHENG, LOGAN JOHN ROBERT, MILLS DAVID M, FORTIN JEFFREY BERNARD
Format Patent
LanguageFrench
Published 30.06.2006
Subjects
DEAF-AID SETS
ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
ELECTRICITY
FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKEACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS
METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICALVIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY
MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES
MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
PERFORMING OPERATIONS
PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
TRANSPORTING
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Summary:Il est proposé une cellule de transducteur à ultrasons micro-usiné capacitif (cMUT) (10). La cellule cMUT (10) comprend une électrode inférieure (18). En outre, la cellule cMUT (10) comprend une membrane (22) placée adjacente à l'électrode inférieure (18) de manière à former un espacement ayant une première largeur d'espacement entre la membrane (22) et l'électrode inférieure (18), la membrane (22) comprenant soit une première couche épitaxiale soit une première couche de polysilicium. De plus, un matériau réducteur de contrainte est placé dans la première couche épitaxiale.
Bibliography:Application Number: FR20050013347