Negatively photosensitive polyimide(s)

• Main Authors: MERCIER REGIS, MARRIAGGI PAUL
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 02.02.1996
• Edition: 6
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; CHEMISTRY; CINEMATOGRAPHY; COMPOSITIONS BASED THEREON; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONSONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS; MATERIALS THEREFOR; METALLURGY; ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP

A negatively photosensitive polyimide has formula (I) Ar1 = trivalent aromatic carbocyclic gp. in which 2 of the valencies are in the ortho-position to each other; Ar2 = divalent aromatic carbocyclic gp. in which the 2 valencies are in the meta- or para-position to each other; Ar3 = divalent aromatic, homocyclic or heterocyclic gp. in which the 2 valencies are not in the ortho- or para-position to each other; R = aliphatic, alicyclic or arylaliphatic gp. with at least 1 C=C bond; m = 0 or 1; n = 1-2000. Polyimide répondant à la formule générale (I) : (CF DESSIN DANS BOPI) dans laquelle, Ar**1 est un radical aromatique carbocyclique trivalent dont les trois valences sont sur des atomes de carbone distincts dont deux d'entre eux sont situés en position ortho l'un par rapport à l'autre, Ar**2 est un radical aromatique carbocyclique divalent dont les deux valences sont sur des atomes de carbone distincts situés de préférence en position 1-3 (méta) ou 1-4 (para) l'un par rapport à l'autre, Ar**3 est un radical aromatique divalent, homocyclique ou hétérocyclique, dont les deux valences sont sur des atomes de carbone distincts non situés en position ortho ou péri l'un par rapport à l'autre, R est un radical aliphatique, alicyclique ou arylaliphatique contenant au moins une double liaison éthylénique, m est un nombre entier qui peut être 0 ou 1 et n est un nombre qui petit prendre toutes les valeurs de 1 à 2000. Préparation, composition et application de ces polyimides.