Dispositivo para formar un espacio de cámara reducido y procedimientos para posicionar cuerpos multicapa

• Main Authors: HARTWICH, Jessica, PALM, Jörg, JOST, Stefan, FÜRFANGER, Martin
• Format: Patent
• Language: Spanish
• Published: 20.07.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; SEMICONDUCTOR DEVICES; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

La invención se refiere a un dispositivo para formar un espacio de cámara reducido, como una caja de proceso o una campana de proceso, que comprende un aparato para posicionar al menos dos cuerpos multicapa, cada uno con al menos una superficie para procesar, en el que el aparato está diseñado para que los cuerpos multicapa están enfrentados entre sí, estando las superficies a mecanizar opuestas entre sí, de modo que los cuerpos multicapa se pueden procesar como una disposición de cuerpo multicapa en un sistema de procesamiento. La invención se refiere además a un método para colocar al menos dos cuerpos multicapa, cada uno con al menos una superficie a procesar, según el cual los dos cuerpos multicapa se disponen en un dispositivo de este tipo para formar un espacio de cámara reducido, de modo que los cuerpos multicapa están uno frente al otro, (Traducción automática con Google Translate, sin valor legal) The device (30a) has a part for forming side wall elements of a process box (20a), where the device retains objects i.e. multilayered bodies (40, 50), such that the objects lie opposite to each other and surfaces (44, 54) of the objects are turned away from each other. A processing element is arranged between the objects, and transverse connecting elements have supporting elements i.e. pointed supporting elements e.g. ball elements, such that the bodies are supported in the connecting elements by the supporting elements. Independent claims are also included for the following: (1) a system for processing objects comprising a gas supplying element and/or a gas discharging element for supplying and/or discharging process gas into and/or from a chamber area and/or a process chamber (2) a method for positioning objects.