Procedimiento para la fabricación de un sustrato de nitruro de aluminio

• Main Authors: Ferrato, M. Marc, Jarrige, Jean, Petitbon, M. Alain
• Format: Patent
• Language: Spanish
• Published: 05.12.2019
• Subjects: ARTIFICIAL STONE; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CEMENTS; CERAMICS; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDINGMATERIALS; CONCRETE; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; LIME, MAGNESIA; METALLURGY; PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OFNEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMICBEAMS; REFRACTORIES; SEMICONDUCTOR DEVICES; SLAG; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; TREATMENT OF NATURAL STONE

Procedimiento para la fabricación de un sustrato de nitruro de aluminio AIN para su utilización como soporte para componentes electrónicos en aplicaciones de baja tensión, caracterizado porque comprende las etapas sucesivas siguientes: a) disolución de un precursor de óxido en forma de un compuesto organometálico en un solvente orgánico para obtener una solución, b) dispersión de un polvo fino y puro de AIN en la solución obtenida anteriormente por agitación vigorosa para obtener una suspensión, c) atomización bajo atmósfera inerte de la suspensión obtenida de este modo para obtener un polvo granulado que presenta granos de AIN recubiertos por una capa del precursor de óxido, d) proyección, a alta temperatura y alta velocidad, del polvo que presenta granos de AIN recubiertos por una capa del precursor de óxido sobre un elemento soporte, utilizando una antorcha de plasma y un soporte metálico, y porque el precursor de óxido se selecciona de entre los precursores óxidos que proporcionan un óxido que forma una fase líquida alrededor de los granos de AIN, a lo largo de la proyección, el precursor de óxido se selecciona de entre los precursores de óxido de itrio, de cerio, de samario, de calcio o de los lantánidos. Production of an aluminum nitride (AlN) substrate comprises spraying a powder at high temperature and high speed onto a support. The powder comprises AlN particles coated with an oxide precursor giving an oxide that forms a liquid phase around the AlN particles during spraying.