CONSEJO Y PROCEDIMIENTO PARA DETECTAR EL DESPLAZAMIENTO DE UNA PLURALIDAD DE ELEMENTOS MICRO Y NANOMECANICOS, COMO LOS MICROVOLADIZOS. SP

• Main Authors: TAMAYO DE MIGUEL, FRANCISCO JAVIER, LECHUGA GOMEZ, LAURA M, ALVAREZ SANCHEZ, MAR
• Format: Patent
• Language: Spanish
• Published: 16.03.2009
• Subjects: APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBEMICROSCOPY [SPM]; MEASURING; PHYSICS; SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; TESTING

Un sistema para detectar el desplazamiento, como la deflexión o inclinación, de una pluralidad de elementos (1) que forman parte de una formación (2), comprendiendo dicho sistema: una fuente (3) de luz dispuesta para emitir un haz (4) de luz hacia la formación (2); un detector (5) óptico de posición dispuesto para recibir el haz de luz con la reflexión de dicho haz de luz por dicha formación, estando dispuesto dicho detector (5) de posición para proporcionar una primera salida indicativa de una posición de incidencia del haz reflejado de luz en dicho detector de posición, a través del cual dicha posición de incidencia está determinada por el desplazamiento del elemento correspondiente; medios (7) de barrido para desplazar el haz (4) de luz a lo largo de la formación (2), de forma que el haz de luz sea reflejado secuencialmente por los elementos (1) individuales a lo largo de dicha formación (2), hacia el detector (5) de posición; y medios (11) de detección de reflexión para detectar cuándo el haz de luz es reflejado por un elemento; estando el sistema dispuesto de forma que cuando los medios (11) de detección de reflexión detecten que el haz de luz está reflejado por un elemento, se toma la primera salida correspondiente del detector (5) óptico de posición como una indicación del desplazamiento de dicho elemento; caracterizado porque los medios (11) de detección de reflexión comprenden: medios (111) para detectar una intensidad de luz recibida por dicho detector de posición; y medios (112) para detectar variaciones en dicha intensidad; estando el sistema dispuesto para interpretar dichas variaciones de forma que determine cuándo dicha intensidad se corresponde con una reflexión del haz de luz por parte de un elemento. The invention relates to a system and method for detecting the displacement, such as the deflection, of a plurality of elements (1), such as microcantilevers, forming part of an array (2), by emitting a light beam (4) towards the array (2) and by receiving a reflected light beam on an optical position detector, whereby the position of incidence of the light beam is determined by the displacement of the corresponding element. The system further comprises: scanning means (7) for displacing the light beam (4) along the array (2) so that the light beam is sequentially reflected, by the individual elements (1) along said array (2); and reflection detecting means (11) for detecting when the light beam is reflected by an element. The system is arranged so that when the reflection detecting means (11) detect that the light beam is reflected by an element, the corresponding position of incidence of the light on the detector is taken as an indication of the displacement of the element.