DISPOSITIVO CATODICO PARA LA PULVERIZACION DE UN TUBO DE OBJETIVO TUBULAR GIRATORIO

• Main Authors: SAUER, ANDREAS, MARQUARDT, DIETMAR, NEWCOMB, RICHARD, KAWAKAMI, KEN, RISO, TOM, TRUBE, SCOTT
• Format: Patent
• Language: Spanish
• Published: 01.04.2008
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

Dispositivo de cátodo para la pulverización de un objetivo tubular (12) con un sistema magnético no giratorio (23) con el objeto de crear un campo magnético para la inclusión de un plasma, para lo cual objetivo tubular (12) es giratorio dentro de una cámara de vacío a través del campo magnético, en dónde se ha dispuesto como mínimo una construcción portante (1), un eje portante accionable (6) para el objetivo tubular (12), para lo cual además dentro del objetivo tubular (12) se ha dispuesto un sistema de soporte para el sistema magnético (23) y en dónde entre el eje portante (6) y el tubo objetivo (12) se ha montado como mínimo un dispositivo de embrague móvil para la sustitución del objetivo tubular (12) caracterizado en que, como mínimo entre el eje portante accionable (6) y el objetivo tubular (12) se han dispuesto las piezas separadoras coaxiales (15, 67) y dos posiciones de separación móviles (32/53) o bien (60/61), y que mediante las posiciones de separación (32/53) respectivamente (60/61) las uniones rígidas en cuanto a su forma y no giratorias entre el eje portante (6) y las piezas separadoras (15, 67) por un lado y las piezas separadoras ( 15, 67) junto con el objetivo tubular (12) por otro lado son separables pero de nuevo pueden volverse a montar. The assembly has a support shaft for tubular target arranged in a support construction. A detachable coupling arrangement is provided between the shaft and target for replacement of the target. A coaxial spacer and two separation points (32) are arranged between the shaft and target. The separation points produce a torque proof and rigid connection between the shaft and spacer, and a detachable connection between the spacer and target.