REFRIGERACION DE UN REACTOR DE PLASMA

• Main Author: STRAMKE, SIEGFRIED
• Format: Patent
• Language: Spanish
• Published: 16.07.2005
• Edition: 7
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

Reactor de plasma con un recipiente (10) que es estanco al vacío, es susceptible de ser puesto en conexión con una bomba de vacío y contiene un compartimento de trabajo (13) en el que se ponen piezas de trabajo (14), una fuente de tensión (18) para la aplicación de una tensión a la pieza de trabajo (14), y al menos un dispositivo de refrigeración (15, 16) que está dispuesto en el recipiente (10) para la evacuación de calor radiante y consta de al menos dos elementos refrigeradores (15a, 15b; 16a, 16b); estando dicho reactor de plasma caracterizado por el hecho de que al menos dos elementos refrigeradores (15a, 15b; 16a, 16b) son serpentines refrigeradores cuyas vueltas de hélice están intercaladas entre sí, siendo dichos elementos refrigeradores susceptibles de ser conectados y desconectados individualmente para incrementar o reducir la superficie de refrigeración efectiva. The plasma reactor has a sealed container (10) that encloses the system elements. Components (14) are subjected to the process for such as plasma nitriding of surfaces. Heat generated by the process is extracted using a fluid cooling system in which fluid is circulated through pipes (15).