DISPOSITIVO PARA EL TRATAMIENTO SUPERFICIAL POR PLASMA DE PIEZAS DE TRABAJO

• Main Author: STRAMKE, SIEGFRIED
• Format: Patent
• Language: Spanish
• Published: 16.09.2001
• Edition: 7
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; SEMICONDUCTOR DEVICES; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

EN UN DISPOSITIVO PARA MECANIZAR Y TRATAR SUPERFICIALMENTE CON PLASMA PIEZAS DE TRABAJO SE HAN REUNIDO EN UN APARATO UNA CAMARA DE MECANIZACION (1) PARA MECANIZAR PIEZAS DE TRABAJO Y UNA CAMARA DE TRATAMIENTO (10) PARA EL TRATAMIENTO SUPERFICIAL CON PLASMA DE LAS PIEZAS DE TRABAJO. LAS DOS CAMARAS (10, 11) SON ESTANCAS AL GAS FRENTE AL ENTORNO Y ESTAN SEPARADAS ENTRE SI MEDIANTE UNA PUERTA (12) ESTANCA AL GAS. DE ESTA FORMA PUEDEN MECANIZARSE PIEZAS DE TRABAJO (15) EN LA CAMARA DE MECANIZACION (11) POR MEDIO DE UNA HERRAMIENTA (20) CON EXTRACCION DE VIRUTAS, MIENTRAS LA PUERTA (12) ESTA CERRADA. DESPUES DE LA MECANIZACION SE IGUALAN LOS ESTADOS EN LAS DOS CAMARAS (10, 11), POR MEDIO POR EJEMPLO DE INTRODUCIR EN LA CAMARA DE MECANIZACION (11) EL MISMO GAS QUE EN LA CAMARA DE TRATAMIENTO (10). DESPUES DE ALCANZARSE UN EQUILIBRIO DE PRESION ENTRE LAS DOS CAMARAS (10, 11), SE ABRE LA PUERTA (12) POR DESPLAZAMIENTO Y SE INTRODUCEN LAS PIEZAS DE TRABAJO (15) EN LA CAMARA DE TRATAMIENTO (10). The device has a treatment chamber (10), which can be evacuated and which contains a plasma generation device, and a processing chamber (11) connected to the treatment chamber by a gas-tight door or lock (12,30). The processing chamber contains a cutting processing device (20). The workpiece is conveyed between the two chambers by a transport device. The chamber separating door is a rotary door (30) which also forms a workpiece carrier.