DISPOSITIVO QUE INCLUYE UN GUIAONDAS OPTICO SOSTENIDO POR UN SUSTRATO Y METODO DE FABRICACION

• Main Authors: HENRY, CHARLES HOWARD, LEVY, ROLAND ALBERT
• Format: Patent
• Language: Spanish
• Published: 01.02.1994
• Edition: 4
• Subjects: OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PHYSICS

EN LA FABRICACION DE DISPOSITIVOS OPTICOS COMO, POR EJEMPLO, MECANISMOS DE COMUNICACIONES OPTICOS Y GIROSCOPIOS OPTICOS, SE NECESITAN GUIAS DE ONDAS OPTICAS SOPORTADAS POR UN SUBSTRATO DE BAJA PERDIDA. DICHAS GUIAS DE ONDAS PUEDEN OBTENERSE MEDIANTE EL DISEÑO DE UNA CAPA DE MATERIAL DE GUIA DE ONDAS DEPOSITADO Y, CON EL FIN DE MINIMIZAR LA PERDIDA QUE PUDIESE PRODUCIRSE POR LA RUGOSIDAD DE LA SUPERFICIE INDUCIDA POR EL PROCESAMIENTO, LAS GUIAS DE ONDAS ASI DISEÑADAS PREFERENTEMENTE SON SOMETIDAS A TRATAMIENTOS POR CALOR LO QUE PROPORCIONA UNA SUPERFICIE PULIDA Y UN REDONDEAMIENTO DE LA SECCION TRANSVERSAL DE LAS GUIAS DE ONDAS. ADEMAS, CONEL FIN DE EVITAR ESQUINAS ENTRANTES ENTRE EL SUBSTRATO Y LA GUIA DE ONDSA, PUEDE APLICARSE UNA CAPA HUMIDIFICADORA A LA GUIA DE ONDAS ANTES DE SOMETERLA AL TRATAMIENTO POR CALOR. In the manufacture of optical devices such as, e.g., optical communications assemblies and optical gyroscopes, low-loss substrate-supported optical waveguides are desired. Such waveguides can be obtained by patterning a layer of deposited waveguide material and, in the interest of minimizing loss as may be due to processing-induced surface roughness, waveguides as patterned preferably undergo a heat treatment which results in surface smoothing and in rounding of the waveguides cross section. Furthermore, in the interest of avoiding re-entrant corners between substrate and waveguide, a wetting layer may be applied to the waveguide prior to heat treatment.