DETERMINING DEPTH VALUES OF A SURFACE AREA OF A WORKPIECE

• Main Authors: Aidukas, Tomas, Baum, Michael, Schmidt, Sören, Plohmann, Daniel
• Format: Patent
• Language: English; French; German
• Published: 05.06.2024
• Subjects: OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PHYSICS

Die Erfindung betrifft ein Verfahren (40) zum Erzeugen von Tiefenwerten eines Oberflächenbereichs einer Oberfläche eines Werkstücks (12), mit:- Empfangen (42) eines Fokalbildstapels, wobei der Fokalbildstapel eine Mehrzahl von Bildern des Werkstücks (12) aufweist, wobei die Bilder den Oberflächenbereich der Oberfläche des Werkstücks (12) mit in einer Tiefenrichtung unterschiedlichen Fokalebenenpositionen (22) als Bildbereich des Bildes abbilden, wobei jedem Bild des Fokalbildstapels eine Fokalebenenposition (22) zugeordnet ist und wobei Bildpunkte der Bilder jeweils einem entsprechenden Objektpunkt auf der Oberfläche des Werkstücks (12) zugeordnet sind;- Bestimmen (44) jeweils eines Bildschärfenwerts für eine Mehrzahl von Teilbereichen des Bildbereichs jedes Bildes des Fokalbildstapels;- Anpassen (46) eines Modells, mit dem ein Verlauf von Bildschärfenwerten jeweils für einen gemeinsamen abgebildeten Teilbereich des Oberflächenbereichs über die Bilder des Bildstapels beschreibbar ist, jeweils an tatsächliche Verläufe der bestimmten Bildschärfenwerte derjenigen Teilbereiche der Bildbereiche, die einen Stapel von Bild-Teilbereichen bilden, weil sie einem gemeinsamen abgebildeten Teilbereich des Oberflächenbereichs entsprechen;- Bestimmen (52) jeweils eines Tiefenwerts für die gemeinsamen Teilbereiche, wobei der Tiefenwert in dem Verlauf von Bildschärfenwerten des Modells einer größten Bildschärfe für den jeweiligen Stapel von Bild-Teilbereichen entspricht und ein Maß für eine Tiefenposition des gemeinsamen abgebildeten Teilbereichs des Oberflächenbereichs ist;- Korrigieren (52) mindestens eines Abbildungsfehlers der Bilder des Fokalbildstapels für zumindest einen der bestimmten oder zu bestimmenden Tiefenwerte, wobei der mindestens eine Abbildungsfehler ein Kippfehler und/oder ein Bildfeldwölbungs-Fehler und/oder ein Astigmatismus-Fehler ist.