SCROLL VACUUM PUMP

Scrollvakuumpumpe (10), umfassendein erstes Spiralelement (12), das eine spiralförmig um eine erste Achse verlaufende erste Wand (14) aufweist, die sich in einer axialen Richtung (Z) von einem ersten Träger (16) erstreckt und die eine dem ersten Träger (16) abgewandte erste freie Stirnseite (18) auf...

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Main Authors LATTA, Sebastian, SCHÄFER, Maik, SÖHNGEN, Wolfgang, BECKER, Jonas, HOFMANN, Jan, SCHÄFER, Heiko
Format Patent
LanguageEnglish
French
German
Published 03.05.2023
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Summary:Scrollvakuumpumpe (10), umfassendein erstes Spiralelement (12), das eine spiralförmig um eine erste Achse verlaufende erste Wand (14) aufweist, die sich in einer axialen Richtung (Z) von einem ersten Träger (16) erstreckt und die eine dem ersten Träger (16) abgewandte erste freie Stirnseite (18) aufweist,ein zweites Spiralelement (20), das eine spiralförmig um eine zweite Achse verlaufende zweite Wand (22) aufweist, die sich in der axialen Richtung (Z) von einem zweiten Träger (24) erstreckt und die eine dem zweiten Träger (24) abgewandte zweite freie Stirnseite (26) aufweist,wobei die Spiralelemente (12, 20) relativ zueinander bewegbar sind und derart angeordnet sind, dass die erste Wand (14) und die zweite Wand (22) unter Ausbildung von Förderräumen (28) dichtend ineinandergreifen,wobei die freie Stirnseite (18, 26) zumindest einer der Wände (14, 22) eine sich in einer Längsrichtung (L) der Wand erstreckende Ausnehmung (30) aufweist, in der zumindest eine Dichtung (32) beweglich angeordnet ist, undwobei die Ausnehmung (30) seitlich von zumindest einer Innenwand (42, 44) begrenzt ist, die zumindest abschnittsweise, schräg zu der axialen Richtung (Z) verläuft und die dazu ausgebildet ist, mit einer zumindest abschnittsweise, schräg zu der axialen Richtung (Z) verlaufenden Seitenwand (46, 48) der Dichtung (30) zusammenzuwirken. A vacuum pump in accordance with the invention, in particular a scroll vacuum pump, comprises a first spiral element that has a first wall that extends spirally about a first axis, that extends in an axial direction from a first support, and that has a first free end face facing away from the first support, and a second spiral element that has a second wall that extends spirally about a second axis, that extends in the axial direction from a second support, and that has a second free end face facing away from the second support, wherein the first spiral element and the second spiral element are movable relative to one another and are arranged such that the first wall and the second wall sealingly engage into one another while forming pumping spaces, wherein the free end face of at least one of the walls has a recess, in particular a groove, which extends in a longitudinal direction of the wall and in which at least one seal is movably arranged, and wherein the recess is laterally bounded by at least one inner wall that extends at least sectionally, preferably continuously, obliquely to the axial direction and that is configured to cooperate with a side wall of the seal extending at least sectionally, preferably continuously, obliquely to the axial direction.
Bibliography:Application Number: EP20220216217