ELECTROMECHANICAL MICROSYSTEM

• Main Authors: SAINT-PATRICE, Damien, NICOLAS, Stéphane, MOLLARD, Laurent
• Format: Patent
• Language: English; French; German
• Published: 07.12.2022
• Subjects: CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES; HAND TOOLS; MANIPULATORS; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY; PERFORMING OPERATIONS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS; TRANSPORTING

L'invention concerne un microsystème électromécanique 1 comprenant un transducteur électromécanique 11, une membrane déformable 12, une première cavité 13 contenant hermétiquement un milieu déformable 14 conservant un volume constant sous l'action d'un changement de pression externe et une deuxième cavité. La membrane déformable forme une paroi de la cavité et présente au moins une zone libre 121 de se déformer de façon élastique. La zone libre forme également une paroi de la deuxième cavité. Le transducteur électromécanique est configuré de sorte que son mouvement soit fonction dudit changement de pression externe, et inversement. Un changement de pression externe dans la première cavité 13 induit une variation du volume de la deuxième cavité 20, ou inversement. Ainsi, le microsystème électromécanique proposé permet la préhension d'un objet obstruant l'ouverture de la deuxième cavité ou constitue un microbaromètre propre à convertir au moins un changement de pression ambiante en un signal électrique. An electromechanical microsystem including an electromechanical transducer, a deformable diaphragm, a first cavity hermetically containing a deformable medium keeping a substantially constant volume under the action of an external pressure change and a second cavity. The deformable diaphragm forms a wall of the cavity and has at least one area freely deformable elastically. The free area also forms a wall of the second cavity. The electromechanical transducer is configured so that its movement depends on the external pressure change, and vice versa. A change in the external pressure in the first cavity induces a variation of the volume of the second cavity, or vice versa. Thus, the proposed electromechanical microsystem enables gripping of an object obstructing the opening of the second cavity and forms a microbarometer capable of converting at least one ambient pressure change into an electrical signal.