MEASURING DEVICE, METHOD FOR MANUFACTURING A MEASURING DEVICE AND METHOD FOR OPERATING A MEASURING DEVICE

Die Erfindung betrifft eine Messvorrichtung (100) zum Messen einer physikalischen Größe. Die Messvorrichtung (100) umfasst ein Messelement (102), das ein elektrisch leitfähiges Material aufweist, eine Sensiermasse (104), die zumindest teilweise ein elektrisch leitfähiges Material aufweist, wobei die...

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Main Authors HERNANDEZ GUILLEN, FRANCISCO, PREISS, ELISABETH, LUTZ, THERESA, HEUCK, FRIEDJOF
Format Patent
LanguageEnglish
French
German
Published 07.10.2015
Subjects
GYROSCOPIC INSTRUMENTS
INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
MEASURING
MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS
MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION,OR SHOCK
NAVIGATION
PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
PHYSICS
SURVEYING
TESTING
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Summary:Die Erfindung betrifft eine Messvorrichtung (100) zum Messen einer physikalischen Größe. Die Messvorrichtung (100) umfasst ein Messelement (102), das ein elektrisch leitfähiges Material aufweist, eine Sensiermasse (104), die zumindest teilweise ein elektrisch leitfähiges Material aufweist, wobei die Sensiermasse (104) ausgebildet ist, um ansprechend auf eine Krafteinwirkung relativ zu dem Messelement (102) bewegt zu werden, und eine Auswerteeinheit, die ausgebildet ist, um unter Verwendung eines von einer Position des Messelements (102) gegenüber der Sensiermasse (104) und/oder von einem elektrischen Stromfluss durch das Messelement (102) abhängigen Tunnelstroms (108) eine physikalische Größe der Krafteinwirkung auf die Sensiermasse (104) zu bestimmen.
Bibliography:Application Number: EP20150158132