Wafer carrier

• Main Author: JAEGER, FELIX
• Format: Patent
• Language: English; French; German
• Published: 23.12.2009
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

The magazine has a base plate resting on a body and movable perpendicular to the body and its base surface opposite to the body. Rectangular guiding bars surround the plate and are fixed to the body, where one of the bars (14) is laterally fixed in an area of a borehole. A rotary belt-shaped miniature isolator (40) is provided between the bars and an outer circumference of the plate and connected movement-coherently with the plate. The isolator directly lies with an inner side (53) of a toothed belt (37) at an inner side (51) of each bar, where the inner side (51) is turned to the plate. Ein Wafermagazin (10) für fotovoltaische Zellen besitzt einen Grundkörper (12), eine auf den Grundkörper (12) aufliegenden Grundplatte (11), die gegenüber dem Grundkörper (12) senkrecht zu dessen und ihrer Grundfläche bewegbar ist und die der Aufnahme der waferförmigen Gegenstände dient, und im Bereich jeder der Seiten des Grundkörpers (12) angeordnete und an diesem gehaltene Führungseinheiten (13, 14), die die Grundplatte (11) umgeben und der Bewegungsführung der auf die Grundplatte (11) zu legenden oder auf dieser liegenden waferförmigen Gegenstände dienen. Zur Reduzierung der Gefahr von Kantenbrüchen der Wafer insbesondere beim Entnehmen auf ein Minimum ist vorgesehen, dass jede Führungseinheit mindestens eine starr am Grundkörper (12) befestigte, aufrechte Führungsstange (13, 14) aufweist, zwischen der und dem Außenumfang der Grundplatte (11) ein vorzugsweise umlaufender bandförmiger Puffer (40) vorgesehen ist, der mit der Grundplatte (11) bewegungsschlüssig gekoppelt ist und der mit seiner Innenseite (53) an der der Grundplatte (11) zugewandten Innenseite (51) jeder Führungsstange (13, 14) unmittelbar anliegt.