Particle-optical device, illumination device and projection system, and method using them

• Main Author: KIENZLE, OLIVER
• Format: Patent
• Language: English; French; German
• Published: 09.10.2002
• Edition: 7
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CINEMATOGRAPHY; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES

Es wird eine teilchenoptische Vorrichtung zum Ändern von Trajektorien geladener Teilchen eines entlang einer Längsachse (35) orientierten divergenten Teilchenstrahls (25) vorgeschlagen, welche umfaßt: eine für die Teilchen wenigstens teilweise transparente Innenelektrodenanordnung (37), welche die Längsachse mit radialem Abstand wenigstens teilweise umgreift und sich entlang der Längsachse erstreckt, eine Außenelektrodenanordnung (29), welche die Innenelektrodenanordnung mit radialem Abstand wenigstens teilweise umgreift und sich entlang der Längsachse erstreckt, und eine Spannungsquelle (47) zum Bereitstellen einer Potentialdifferenz zwischen der Innenelektrodenanordnung und der Außenelektrodenanordnung, wobei die Spannungsquelle eine solche Potentialdifferenz bereitstellt, daß eine orthogonal zur Längsachse orientierte Bewegungskomponenete eines die Innenelektrodenanordnung durchsetzenden Teilchens umkehrbar ist. Ferner werden ein Beleuchtungssystem und ein Abbildungssystem sowie ein Herstellungsverfahren, welche diese teilchenoptische Vorrichtung einsetzen, vorgeschlagen. An inner electrode structure (37) partly transparent to particles partly encompasses a longitudinal axis with a radial gap and stretches along this axis. An outer electrode structure (29) partly encompasses the inner electrode structure with a radial gap and stretches along the longitudinal axis. A source (47) of voltage supplies a potential difference between the inner and outer electrode structures. An Independent claim is also included for a method for producing a component with photolithographic capabilities.