Potassium doped pyrogenic oxide
Mittels Aerosol mit Kalium dotierte pyrogen hergestellte Oxide von Metallen oder Metalloiden, wobei die Basiskomponente ein pyrogen hergestelltes Oxid ist, das mit Kalium von 0,000001 bis 20 Gew.-% dotiert ist, wobei die Dotierungsmenge vorzugsweise im Bereich von 1 bis 20.000 ppm liegt und die Doti...
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Format | Patent |
Language | English French German |
Published |
26.06.2002
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Edition | 7 |
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Summary: | Mittels Aerosol mit Kalium dotierte pyrogen hergestellte Oxide von Metallen oder Metalloiden, wobei die Basiskomponente ein pyrogen hergestelltes Oxid ist, das mit Kalium von 0,000001 bis 20 Gew.-% dotiert ist, wobei die Dotierungsmenge vorzugsweise im Bereich von 1 bis 20.000 ppm liegt und die Dotierungskomponente ein Salz des Kaliums ist, wobei die BET-Oberfläche des dotierten Oxids zwischen 1 und 1000 m /g liegt, die Breite der Teilchengrößenverteilung mindestens 0,7 beträgt. Die dotierten Oxide können als Poliermaterial (CMP-Anwendung) eingesetzt werden.
Pyrogenic oxides (A) of metals or metalloids, are doped with potassium by means of an aerosol. The base component is produced by flame oxidation or, preferably, flame hydrolysis, and is doped with 10<-6> to 20 wt.%, preferably 1-20000 ppm potassium, supplied as a salt. (A) has BET surface area 1-1000 m /g and the width of the particle size distribution is at least 0.7. An Independent claim is also included for a process for preparing (A). |
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Bibliography: | Application Number: EP20010125293 |