Tensioning device for an inner diameter saw blade and its use for sawing rods, in particular from semiconductor material, into wafers

• Main Author: MALCOK, HANIFI
• Format: Patent
• Language: English; French; German
• Published: 08.01.1992
• Subjects: BROACHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS; FILING; GRINDING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOTOTHERWISE PROVIDED FOR; MACHINE TOOLS; MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; PERFORMING OPERATIONS; PLANING; POLISHING; SAWING; SCRAPING; SHEARING; SLOTTING; TOOLS FOR GRINDING, BUFFING, OR SHARPENING; TRANSPORTING; WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE; WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS

Beim Innenlochsägen von Stäben, insbesondere aus Halbleitermaterial, kommt dem genauen Einspannen des Sägeblattes hohe Bedeutung zu. Bei den herkömmlichen Spannsystemen, bei denen das Sägeblatt durch mittels eines Halteringes ausgeübte Klemmkräfte am Maschinendrehteil gehalten und mittels eines zusätzlichen Spannringes mit Spannung beaufschlagt wird, wird mangelhafte Spannkonstanz zumeist dadurch verursacht, daß die Spannkräfte den Klemmkräften entgegenwirken. Ein demgegenüber besseres Spannverhalten läßt sich erfindungsgemäß dadurch erzielen, daß die Spannkräfte durch mit dem Maschinendrehteil (1) lösbar verbundene Spannelemente (13) auf den Spannring (12) aufgebracht werden und somit Klemm- und Spannkräfte nicht mehr einander entgegengerichtet sind. Durch die Verwendung solcher Spannsysteme lassen sich längere Sägeblattstandzeiten und höhere Sägeleistungen erzielen. In the centre-hole sawing of ingots, in particular made of semiconductor material, considerable importance is attached to the accurate mounting of the saw blade. In the conventional tensioning devices, in which the saw blade is held on the rotary part of the machine by clamping forces exerted by means of a retaining ring and is tensioned by means of an additional tensioning ring, a lack of constancy in the tensioning is for the most part caused by the tensioning forces counteracting the clamping forces. Better tensioning behaviour compared with this can be achieved according to the invention owing to the fact that the tensioning forces are applied to the tensioning ring (12) by tensioning elements (13) detachably connected to the rotary part (1) of the machine and thus clamping and tensioning forces are no longer opposed to one another. Longer life of the saw blade and higher sawing capacities can be achieved through the use of such tensioning devices. ……