Process for the preparation of disilane

Procédé de préparation de disilane, du genre où un gaz brut incorporant du monosilane, du disilane, du trisilane et des impuretés telles que phosphine, hydrogène sulfuré, arsine, disiloxane et siloxanes supérieurs, est soumis à une étape de séparation par distillation pour l'élimination substan...

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Main Authors PARENT, JEAN-CLAUDE, RENAUDIN, MARIE-HELENE
Format Patent
LanguageEnglish
French
German
Published 27.03.1991
Subjects
CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOIDCHEMISTRY
CHEMISTRY
COMPOUNDS THEREOF
INORGANIC CHEMISTRY
METALLURGY
NON-METALLIC ELEMENTS
PERFORMING OPERATIONS
PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
THEIR RELEVANT APPARATUS
TRANSPORTING
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Summary:Procédé de préparation de disilane, du genre où un gaz brut incorporant du monosilane, du disilane, du trisilane et des impuretés telles que phosphine, hydrogène sulfuré, arsine, disiloxane et siloxanes supérieurs, est soumis à une étape de séparation par distillation pour l'élimination substantielle des autres composés du silicium, à l'exception du disiloxane, et l'élimination substantielle des impuretés phosphine, hydrogène sulfuré et arsine, caractérisé en ce qu'on procède à une épuration finale du disilane par adsorption sélective sur tamis moléculaires, dont l'un est un tamis du type 3 A pour l'élimination des siloxanes et de l'hydrogène sulfuré et l'autre un tamis du type 4 A pour l'élimination de la phosphine et de l'arsine.
Bibliography:Application Number: EP19900402593