Lichtbestrahlungsvorrichtung, Mikroskop, Lichtbestrahlungsverfahren und Bildaufnahmeverfahren

Eine Lichtbestrahlungsvorrichtung umfasst eine Lichtausgabeeinheit, die einen kohärenten Strahl ausgibt; und ein optisches System, das ein Objekt mit dem von der Lichtausgabeeinheit ausgegebenen Strahl bestrahlt. Das optische System umfasst eine Objektivlinse, die den von der Lichtausgabeeinheit aus...

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Main Authors Watanabe, Koyo, Matsumoto, Naoya
Format Patent
LanguageGerman
Published 29.08.2024
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Summary:Eine Lichtbestrahlungsvorrichtung umfasst eine Lichtausgabeeinheit, die einen kohärenten Strahl ausgibt; und ein optisches System, das ein Objekt mit dem von der Lichtausgabeeinheit ausgegebenen Strahl bestrahlt. Das optische System umfasst eine Objektivlinse, die den von der Lichtausgabeeinheit ausgegebenen Strahl auf das Objekt fokussiert, sowie einen Polarisationswandler, einen Phasenwandler und eine Ringmaske, die in einem optischen Pfad zwischen der Lichtausgabeeinheit und dem Objekt vorgesehen sind. Der Polarisationswandler ist so konfiguriert, dass er den in den Polarisationswandler eingegebenen Strahl in einen azimutal polarisierten Strahl umwandelt und den azimutal polarisierten Strahl ausgibt. Der Phasenwandler ist so konfiguriert, dass er eine Phasenmodulation unter Verwendung eines Spiralphasenmusters auf den in den Phasenwandler eingegebenen Strahl anwendet. This light irradiation device is provided with a light output part that outputs coherent light, and an optical system that irradiates light outputted from the light output part on an object. The optical system has an objective lens that focuses the light outputted from the light output part on the object, a polarization converter, a phase converter, and a ring mask provided on a light path between the light output part and the object. The polarization converter is configured so that light inputted to the polarization converter is converted into azimuthally polarized light and output. The phase converter is configured so that phase modulation due to a spiral phase pattern is imparted to light inputted to the phase converter.
Bibliography:Application Number: DE20221105163T