Kombinationsherstellungsverfahren und Kombinationsherstellungssystem für Zirkoniumoxid und Methylchlorsilan und/oder Polysilizium

• Main Authors: Wu, Zhufeng, Liu, Xingping, Chen, Guohui, Fan, Xiecheng, Yin, Bo, Huang, Bin
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 01.09.2022
• Subjects: ACYCLIC, CARBOCYCLIC OR HETEROCYCLIC COMPOUNDS CONTAININGELEMENTS OTHER THAN CARBON, HYDROGEN, HALOGEN, OXYGEN, NITROGEN,SULFUR, SELENIUM OR TELLURIUM; CHEMISTRY; COMPOUNDS CONTAINING METALS NOT COVERED BY SUBCLASSESC01D OR C01F; INORGANIC CHEMISTRY; METALLURGY; ORGANIC CHEMISTRY

Bereitgestellt werden ein Kombinationsherstellungsverfahren und ein Kombinationsherstellungssystem für Zirkoniumoxid und Methylchlorsilan und/oder Polysilizium. Das Verfahren umfasst: Herstellen des Zirkoniumoxids unter Verwendung von Zirkonsand, Reduktionsmittel Kohlenstoff, Chlorgas, Wärmeergänzungsmittel Silizium und Chlorwasserstoff als Rohstoffe, wobei ein während der Herstellung des Zirkoniumoxid abgeschiedenes Produkt Gasphasestoffe und Flüssigphasestoffe umfasst; Herstellen von Methylchlorsilan unter Verwendung der während der Herstellung von Zirkoniumoxid abgeschiedener Gasphasestoffe als Rohstoff; Herstellen von Polysilizium unter Verwendung der Flüssigphasestoffe als Rohstoff. In der vorliegenden Erfindung werden nicht nur Abgase, wie Kohlenmonoxid und Chlorwasserstoff, die während der Herstellung von Zirkoniumoxid entstehen, als Rohstoffe zur Herstellung von Methylchlorsilan verwendet, sondern auch ein Nebenprodukt, also Siliziumtetrachlorid, das während der Herstellung von Zirkoniumoxid entsteht, als Rohstoff zur Herstellung von Polysilizium verwendet wird, wodurch die Abgase und das Siliziumtetrachlorid effektiv und hochwertig recycelt werden, so dass die Behandlungskosten der Abgase und des Siliziumtetrachlorids reduziert und eine Umweltverschmutzung verhindert werden, und außerdem werden die Produktionskosten von Methylchlorsilan und Polysilizium gesenkt, das Prozessniveau verbessert und der wirtschaftliche Gesamtnutzen verbessert. Disclosed is a combined process for preparing zirconium oxide, methyl chlorosilane and/or polycrystalline silicon and a combined system comprising: preparing zirconium oxide by using zircon sand, carbon, chlorine gas, silicon, and hydrogen chloride as raw materials, the products separated during preparing zirconium oxide include gas phase products and liquid phase products, methyl chlorosilane is prepared from the gas phase separated during preparing zirconium oxide, and polycrystalline silicon is prepared by using the liquid phase products as raw materials. In this invention, not only carbon monoxide, hydrogen chloride and other waste gases generated are used as raw materials for producing methyl chlorosilane, but also a by-product silicon tetrachloride generated is used as a raw material for producing polycrystalline silicon, thereby effectively recycling waste gases and silicon tetrachloride, reducing the treatment cost of waste gases and silicon tetrachloride and the production cost of methyl chlorosilane and polycrystalline silicon, and avoiding environmental pollution.