EIN HALBLEITERGEHÄUSE, UMFASSEND EINEN AKTIVEN DIE AUF WAFEREBENE UND EINE EXTERNE DIE-BEFESTIGUNG

• Main Authors: Sankman, Robert Leon, Mehta, Vipul Vijay, Ganesan, Sanka, Mallik, Debendra, Li, Eric Jin
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 19.09.2019
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

Halbleitergehäuse und -Gehäuseanordnungen, die aktive Dies und externe Die-Befestigungen auf einem Siliziumwafer aufweisen, und Verfahren zur Fertigung solcher Halbleitergehäuse und -Gehäuseanordnungen sind beschrieben. Bei einem Beispiel umfasst eine Halbleitergehäuseanordnung ein Halbleitergehäuse, das einen aktiven Die aufweist, der durch einen ersten Löthöcker an einem Siliziumwafer angebracht ist. Ein zweiter Löthöcker ist auf dem Siliziumwafer lateral auswärts von dem aktiven Die, um eine Befestigung für einen externen Die bereitzustellen. Eine Epoxidschicht kann den aktiven Die umgeben und den Siliziumwafer abdecken. Ein Loch kann sich durch die Epoxidschicht über dem zweiten Löthöcker erstrecken, um den zweiten Löthöcker durch das Loch freizulegen. Dementsprechend kann ein externer Speicher-Die direkt mit dem zweiten Löthöcker auf dem Siliziumwafer durch das Loch verbunden sein. Semiconductor packages and package assemblies having active dies and external die mounts on a silicon wafer, and methods of fabricating such semiconductor packages and package assemblies, are described. In an example, a semiconductor package assembly includes a semiconductor package having an active die attached to a silicon wafer by a first solder bump. A second solder bump is on the silicon wafer laterally outward from the active die to provide a mount for an external die. An epoxy layer may surround the active die and cover the silicon wafer. A hole may extend through the epoxy layer above the second solder bump to expose the second solder bump through the hole. Accordingly, an external memory die can be connected directly to the second solder bump on the silicon wafer through the hole.