Ionenätzvorrichtung

Es ist eine Ionenätzvorrichtung vorgesehen, die dafür eingerichtet ist, die Verunreinigung einer Strahlformungselektrode zu unterdrücken. Die Ionenätzvorrichtung weist Folgendes auf: eine Ionenkanone 101, die eine Strahlformungselektrode zur Formung eines Ionenstrahls enthält, einen Probenhalter 107...

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Main Authors Asai, Kengo, Iwaya, Toru, Shichi, Hiroyasu, Takasu, Hisayuki
Format Patent
LanguageGerman
Published 28.03.2019
Subjects
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
ELECTRICITY
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Summary:Es ist eine Ionenätzvorrichtung vorgesehen, die dafür eingerichtet ist, die Verunreinigung einer Strahlformungselektrode zu unterdrücken. Die Ionenätzvorrichtung weist Folgendes auf: eine Ionenkanone 101, die eine Strahlformungselektrode zur Formung eines Ionenstrahls enthält, einen Probenhalter 107 zur Befestigung einer durch Bestrahlung mit dem Ionenstrahl 102 zu bearbeitenden Probe 106, eine Maske 110 zum Abschirmen eines Teils der Probe 106 vom Ionenstrahl 102 und eine Ionenkanonen-Steuereinrichtung 103 zum Steuern der Ionenkanone 101. To provide an ion milling apparatus adapted to suppress the contamination of a beam forming electrode. The ion milling apparatus includes: an ion gun containing therein a beam forming electrode for forming an ion beam; a specimen holder for fixing a specimen to be processed by irradiation of an ion beam; a mask for shielding a part of the specimen from the ion beam; and an ion gun controller for controlling the ion gun.
Bibliography:Application Number: DE20161107058T