LASERVORRICHTUNG UND LICHT-ERZEUGUNGSVORRICHTUNG FÜR EXTREM ULTRAVIOLETTE STRAHLUNG

• Main Authors: Funaoka, Kouji, Naruse, Masashi
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 04.01.2018
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; DEVICES USING STIMULATED EMISSION; ELECTRICITY

Die Erfindung betrifft eine Laservorrichtung mit einer Verstärkungsvorrichtung, die auf einem Basisrahmen mittels kinematischer Halterungen angebracht ist, und eine Licht-Erzeugungsvorrichtung für extrem ultraviolette Strahlung (EUV), die die Laservorrichtung verwendet, die keine Änderung einer optischen Achse und eine Verschlechterung der Qualität der Laserstrahlung aufweist, selbst wenn eine thermische Ausdehnung und Kontraktion in einer Struktur der kinematischen Halterungen auftreten. Kinematische Halterungen (31 bis 33) weisen drei Punkte (O, A und B) auf, die null Freiheitsgrade, einen Freiheitsgrad bzw. zwei Freiheitsgrade aufweisen. Aus einer Richtung senkrecht zu einer Ebene betrachtet, die die drei Punkte aufweist, ist eine Verlängerung einer optischen Eintrittsachse (SU) eines Laserstrahls (18) zu einer Verstärkungsvorrichtung (28) oder eine Verlängerung einer optischen Austrittsachse (CT) von der Verstärkungsvorrichtung zu dem Punkt (O) mit dem null Freiheitsgraden ausgerichtet. Eine Translationsrichtung des Punktes (A) mit dem einen Freiheitsgrad ist zu dem Punkt (O) mit den null Freiheitsgraden ausgerichtet. Eine der Verlängerung der optischen Eintrittsachse und der Verlängerung der existierenden optischen Achse verläuft auf einer Seite näher zu dem Punkt (B) mit den zwei Freiheitsgraden in Bezug auf eine Seite des Punktes (A) mit dem einen Freiheitsgrad. Kinematic mounts have three points having zero degree of freedom, one degree of freedom, and two degrees of freedom, respectively. As viewed from a direction perpendicular to a plane containing the three points, an extension of an entrance optical axis of a laser beam to an amplifying apparatus or an extension of an exit optical axis from the amplifying apparatus is oriented to the point with the zero degree of freedom. A translational direction of the point with the one degree of freedom is oriented to the point with the zero degree of freedom. One of the extension of the entrance optical axis and the extension of the exist optical axis passes on a side closer to the point with the two degrees of freedom with respect to a side of the point with the one degree of freedom.