LASERVORRICHTUNG UND LICHT-ERZEUGUNGSVORRICHTUNG FÜR EXTREM ULTRAVIOLETTE STRAHLUNG

• Main Authors: Funaoka, Kouji, Naruse, Masashi
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 27.04.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; DEVICES USING STIMULATED EMISSION; ELECTRICITY

Laservorrichtung (1) mit einer Verstärkungsvorrichtung (28), die auf einem Basisrahmen mittels einer kinematischen Halterung (31 bis 33) mittels genau drei Punkten (O, A, B) angebracht ist,wobei die drei Punkte (O, A und B) einen Punkt mit null Freiheitsgraden (O), einen Punkt mit genau einem Freiheitsgrad (A) und einen Punkt mit zwei Freiheitsgraden (B) aufweisen,wobei die Verlängerung der optischen Eintrittsachse (SU) eines Laserstrahls zu der Verstärkungsvorrichtung (28) und die Verlängerung der optischen Austrittsachse (CT) des Laserstrahls von der Verstärkungsvorrichtung (28) derart angeordnet sind, dass sie durch den Punkt mit null Freiheitsgraden (O) verlaufen, betrachtet aus einer Richtung senkrecht zu einer Ebene, die die drei Punkte (O, A und B) aufweist, wobei die Translationsrichtung des Punktes mit dem genau einen Freiheitsgrad (A) in Richtung zu dem Punkt mit den null Freiheitsgraden (O) ausgerichtet ist undwobei die Verlängerung der optischen Eintrittsachse (SU) und die Verlängerung der optischen Austrittsachse (CT) zwischen dem Punkt mit den zwei Freiheitsgraden (B) und dem Punkt mit dem genau einen Freiheitsgrad (A) verläuft. Kinematic mounts have three points having zero degree of freedom, one degree of freedom, and two degrees of freedom, respectively. As viewed from a direction perpendicular to a plane containing the three points, an extension of an entrance optical axis of a laser beam to an amplifying apparatus or an extension of an exit optical axis from the amplifying apparatus is oriented to the point with the zero degree of freedom. A translational direction of the point with the one degree of freedom is oriented to the point with the zero degree of freedom. One of the extension of the entrance optical axis and the extension of the exist optical axis passes on a side closer to the point with the two degrees of freedom with respect to a side of the point with the one degree of freedom.