Wafergruppe, Waferherstellungsvorrichtung und Waferherstellungsverfahren

• Main Authors: Sugiura, Junji, Shoji, Shinya, Ishii, Makoto, Umetsu, Kazuyuki
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 29.12.2022
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; PERFORMING OPERATIONS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TRANSPORTING; WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE; WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS

Wafergruppe, die aus einer Mehrzahl von Wafern aufgebaut ist, die von demselben Block erhalten worden sind, wobei alle Wafer eine Orientierungsabflachung (OF) aufweisen, wobei die Wafergruppe aus 70 oder mehr Wafern aufgebaut ist, wobei bezüglich der OF-Orientierungsgenauigkeit der Wafergruppe, die durch einen Winkel repräsentiert ist, die OF-Orientierungsgenauigkeit in jedem Wafer innerhalb von ± 0,010° liegt, und wobei die Standardabweichung der OF-Orientierungsgenauigkeit der Wafergruppe 0,0015 oder weniger beträgt. A wafer group facilitates securing uniformity of products manufactured from the wafer group whose composition varies among wafers. A technique excludes uncertain factors in forming OF, forming OF with extremely high probability and extremely high accuracy, the wafer group being constituted by a plurality of wafers obtained from the same ingot, with all wafers having an orientation flat (OF), wherein the wafer group is constituted by 70 or more wafers, and in the OF orientation accuracy of the wafer group represented by an angle, the OF orientation accuracy in each wafer is within ±0.010°.