Suszeptorhalterungswelle mit Gleichförmigkeitsabstimmungslinsen für einen EPI-Prozess

Ausführungsformen der Erfindung beziehen sich allgemein auf Suszeptorhalterungswellen und selbige enthaltende Prozesskammern. Eine Suszeptorhalterungswelle haltert einen Suszeptor auf sich, der wiederum während einer Bearbeitung ein Substrat haltert. Die Suszeptorhalterungswelle reduziert Schwankung...

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Main Authors LI, XUEBIN, SAMIR, MEHMET TUGRUL, LAU, SHU-KWAN, CONG, ZHEPENG, BRILLHART, PAUL, ISHII, MASATO, RAMACHANDRAN, BALASUBRAMANIAN
Format Patent
LanguageGerman
Published 26.11.2015
Subjects
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC HEATING
ELECTRIC LIGHTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
SEMICONDUCTOR DEVICES
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Summary:Ausführungsformen der Erfindung beziehen sich allgemein auf Suszeptorhalterungswellen und selbige enthaltende Prozesskammern. Eine Suszeptorhalterungswelle haltert einen Suszeptor auf sich, der wiederum während einer Bearbeitung ein Substrat haltert. Die Suszeptorhalterungswelle reduziert Schwankungen bei der Temperaturmessung des Suszeptors und/oder Substrats, indem ein durchgängiger Weg für einen Pyrometerfokalstrahl bereitgestellt wird, der zum Suszeptor und/oder Substrat gerichtet wird, auch wenn sich die Suszeptorhalterungswelle dreht. Die Suszeptorhalterungswellen haben auch eine relativ geringe thermisch wirksame Masse, was die Anlauf- und Auslaufraten einer Prozesskammer erhöht. In einigen Ausführungsformen kann ein kundenspezifisches lichtbrechendes Element abnehmbar oben auf der massiven Scheibe angeordnet sein, um Sekundärwärmeverteilungen zur optimalen Epitaxieprozessdickengleichmäßigkeit über den Suszeptor und/oder das Substrat hinweg umzuverteilen.
Bibliography:Application Number: DE20141101376T