MEMS auf Rückseite von Bulk-Silizium

• Main Authors: Baskaran, Rajashree, Pelto, Christopher M
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 16.11.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY; PERFORMING OPERATIONS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TRANSPORTING

Vorrichtung, umfassend:ein einziges Halbleitersubstrat (100);eine Bauelementschicht (102), die auf einer Vorderseite (104) des einzigen Halbleitersubstrats (100) ausgebildet ist;eine Umverdrahtungsschicht (600), die auf einer Rückseite (106) des einzigen Halbleitersubstrats (100) ausgebildet ist;ein...