LASERBEARBEITUNGSVORRICHTUNG
Eine Laserbearbeitungsvorrichtung, enthält einen Haltetisch zum Halten eines Werkstücks darauf, einen Laseroszillator zum Emittieren eines Laserstrahls, einen Polygonspiegel, der eine Vielzahl von reflektierenden Facetten aufweist, zum Abtasten des von dem Laseroszillator emittierten Laserstrahls, e...
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Format | Patent |
Language | German |
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26.09.2024
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Summary: | Eine Laserbearbeitungsvorrichtung, enthält einen Haltetisch zum Halten eines Werkstücks darauf, einen Laseroszillator zum Emittieren eines Laserstrahls, einen Polygonspiegel, der eine Vielzahl von reflektierenden Facetten aufweist, zum Abtasten des von dem Laseroszillator emittierten Laserstrahls, einen Strahlkondensor zum Konvergieren des von dem Polygonspiegel abgetasteten Laserstrahls und zum Aufbringen des konvergierten Laserstrahls auf das Werkstück, und eine Bestimmungseinheit für eine bestrahlte Facette zum Bestimmen einer bestrahlten Facette des Polygonspiegels, auf die der Laserstrahl unter den reflektierenden Facetten aufgebracht wird.
A laser processing apparatus includes a holding table for holding a workpiece thereon, a laser oscillator for emitting a laser beam, a polygon mirror having a plurality of reflecting facets for scanning the laser beam emitted by the laser oscillator, a beam condenser for converging the laser beam scanned by the polygon mirror and applying the converged laser beam to the workpiece, and an irradiated facet specifying unit for specifying an irradiated facet of the polygon mirror to which the laser beam is applied among the reflecting facets. |
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Bibliography: | Application Number: DE202410202586 |