Bauelement für die Halbleiterlithografie, Verfahren zum Herstellen eines Gelenkkörpers für einen Sensor eines Lithografiesystems und Lithografiesystem

• Main Authors: Hoffmann, Daniel Kai, Baitinger, Henner, Metzmacher, Christof
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 27.07.2023
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; CINEMATOGRAPHY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MACHINE TOOLS; MATERIALS THEREFOR; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; ORIGINALS THEREFOR; PERFORMING OPERATIONS; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL; TRANSPORTING; WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OFELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKESTHE PLACE OF A TOOL

Die Erfindung betrifft ein Bauelement (1) für die Halbleiterlithografie, wobei das Bauelement (1) dadurch erhältlich ist, dass das Bauelement (1) zunächst durch ein formgebendes Fertigungsverfahren aus Metall ausgebildet wird. Erfindungsgemäß ist das formgebende Fertigungsverfahren Drahterodieren. Anschließend wird wenigstens ein Abschnitt (4) des Bauelements (1) durch eine präzise elektrochemische Metallbearbeitung (PECM) derart bearbeitet, dass eine Oberfläche (5) des Abschnitts (4) im Wesentlichen frei von Mikrorissen (6) ist.