MESSVERFAHREN, VERARBEITUNGSEINRICHTUNG UND SYSTEM FÜR EINE WEGLÄNGENMESSUNG

Zur Durchführung einer Weglängenmessung werden durchstimmbare Laserstrahlungsquellen (11, 12) verwendet. Die Weglänge wird abhängig von einer relativen Phasenlage unterschiedlicher Interferenzsignale ermittelt, die mit wenigstens einem Detektor (15) erfasst werden.

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Main Authors Bublitz, Daniel, Westphal, Peter
Format Patent
LanguageGerman
Published 02.10.2024
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Summary:Zur Durchführung einer Weglängenmessung werden durchstimmbare Laserstrahlungsquellen (11, 12) verwendet. Die Weglänge wird abhängig von einer relativen Phasenlage unterschiedlicher Interferenzsignale ermittelt, die mit wenigstens einem Detektor (15) erfasst werden.
Bibliography:Application Number: DE202310108333