Verfahren zum Betreiben einer Ionenstrahlquelle, Ionenstrahlquelle und Computerprogramm

• Main Author: Pradip, Ramu
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 08.08.2024
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

Ein Verfahren zum Betreiben einer Ionenstrahlquelle umfasst Betreiben der Ionenstrahlquelle in einem Strahlerzeugungsmodus und Betreiben der Ionenstrahlquelle in einem Dekontaminierungsmodus, wobei das Betreiben der Ionenstrahlquelle in dem Strahlerzeugungsmodus Erzeugen eines Ionenstrahls aus Ionen, die von einer Spitze emittiert werden, beinhaltet, und wobei das Betreiben der Ionenstrahlquelle in dem Dekontaminierungsmodus Zuführen von Leistung zu einem Heizdraht, um die Temperatur des Heizdrahts auf eine Dekontaminierungstemperatur anzuheben, Messen einer zeitlichen Änderung einer physikalischen Eigenschaft, die eine Temperatur des Heizdrahts angibt, während die Leistung dem Heizdraht zugeführt wird, und Anzeigen einer Angabe auf der Grundlage der gemessenen zeitlichen Änderung der physikalischen Eigenschaft und/oder Speichern eines Änderungswerts auf der Grundlage der gemessenen zeitlichen Änderung der physikalischen Eigenschaft beinhaltet. Die Ionenstrahlquelle umfasst den Heizdraht, ein Metallreservoir, das mechanisch mit dem Heizdraht verbunden ist, und die Spitze, die mechanisch mit dem Metallreservoir verbunden ist und zum Emittieren von Ionen, die von dem Metallreservoir zugeführt werden, vorgesehen ist. Operating an ion beam source comprises operating the ion beam source in a beam generation mode and operating the ion beam source in a decontamination mode. Operating in beam generation mode includes generating an ion beam from ions emitted from a tip. Operating in decontamination mode includes supplying power to a heating wire to raise the temperature of the heating wire to a decontamination temperature, measuring a change over time of a physical property indicating a temperature of the heating wire while the power is supplied to the heating wire, and displaying an indication based on the measured change over time of the physical property and/or storing a change value based on the measure change over time of the physical property. The ion beam source comprises the heating wire, a metal reservoir mechanically connected to the heating wire, and the tip mechanically connected to the metal reservoir.