SENSORISCHES SCHICHTSYSTEM UND VERWENDUNGEN HIERVON

• Main Authors: Plogmeyer, Marcel, Schott, Anna
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 20.06.2024
• Subjects: CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; MEASURING; MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER,MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE; METALLURGY; PHYSICS; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; TESTING

Es wird ein sensorisches Schichtsystem bereitgestellt, das eine Grundschicht und eine Deckschicht aufweist und sich dadurch auszeichnet, dass die Grundschicht und/oder Deckschicht eine Multilagenschicht ist, die mindestens eine erste Schicht und mindestens eine zweite Schicht enthält oder daraus besteht, wobei die erste Schicht ein Material ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus diamantartiger Kohlenstoff, einen mit einem Metall, Halbmetall und/oder Gas modifizierten diamantartigen Kohlenstoff, und Kombinationen hiervon enthält oder daraus besteht und die zweite Schicht ein zur ersten Schicht verschiedenes Material enthält oder daraus besteht. Die erste Schicht und die zweite Schicht weisen jeweils eine Schichtdicke im Bereich von 1 nm bis 1000 nm auf. Durch die Multilagenschicht kann bei relativ flacher und kompakter Bauweise eine verbesserte elektrische Isolation und eine höhere Langzeitstabilität gegen Verschleiß gegenüber etablierten Einzel-Isolationsschichten bereitstellt werden, wodurch dessen Einsatzgrenzen erweitert werden.