EUV-Reflektometer und Messverfahren

• Main Authors: Bol, Johannes, Walz, Stefan
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 23.02.2023
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; PHYSICS; TESTING

Ein Messverfahren zum Messen der Reflektivität eines für EUV-Strahlung reflektierend wirkenden Prüflings (PR) umfasst ein Erzeugen eines auf die Oberfläche (OB) gerichteten Messstrahls (STR) mit EUV-Strahlung, ein Halten des Prüflings (PR) und Positionieren des Prüflings in Bezug auf den Messstrahl (STR) in mehreren Freiheitsgraden derart, dass im Betrieb der Messstrahl (STR) an einer vorgebbaren Messstelle im Bereich eines Messflecks (MFL) unter einen vorgebbaren Einfallswinkel auf die reflektierende Oberfläche (OB) trifft, ein Detektieren einer Eigenschaft eines von der Oberfläche des Prüflings reflektierten Strahls mittels eines Detektors (DET) zur Erzeugung von Detektorsignalen, die die vom Prüfling reflektierte EUV-Strahlung repräsentieren sowie ein Auswerten der Detektorsignale zur Bestimmung von Reflektivitäts-Messwerten, wobei das EUV-Reflektometer vor Durchführung einer Messung in einer Justageoperation für die Messung justiert wird. Die Justageoperation umfasst folgende Schritte:(i) Bestimmen einer Strahlrichtung des reflektierten Strahls (STRR) und/oder des Messstrahls (STR) zur Ermittlung von Strahlrichtungs-Parametern;(ii) Bestimmen eine Positionsabweichung (PA) zwischen einem für die Messung angestrebten Soll-Auftreffort des reflektierten Strahls auf dem Detektor und einem auf Basis der Strahlrichtungs-Parameter bestimmten virtuellen Ist-Auftreffort;(iii) Bestimmen von Korrekturwerten auf Basis der Positionsabweichung, wobei die Korrekturwerte Korrekturwinkelwerte und/oder Korrekturwegwerte aufweisen, wobei Korrekturwinkelwerte Winkelwerte repräsentieren, um die die Orientierung des Prüflings (PR) verändert werden muss, um die Positionsabweichung zu korrigieren und wobei Korrekturwegwerte Wegwerte repräsentieren, um die die Position des Detektors (DET) verändert werden muss, um die Positionsabweichung zu korrigieren;(iv) Verändern der Orientierung des Prüflings relativ zum Messstrahl (STR) und/oder Veränderung der Position des Detektors (DET) relativ zum reflektierten Strahl (STRR) unter Verwendung der Korrekturwerte derart, dass die Positionsabweichung korrigiert wird.