Verfahren zum Abgleich eines Inertialsensorbauteils mittels einer Kalibriereinrichtung, Kalibriereinrichtung, Sockeleinrichtung und Inertialsensorbauteil

• Main Authors: Meier, Matthias, Hertle, Tobias, Liewald, Jan-Timo, Struchholz, Michael, Proebster, Magnus Christian, Mennicke, Carsten, Hoefer, Holger
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 16.05.2024
• Subjects: GYROSCOPIC INSTRUMENTS; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT; MEASURING; MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION,OR SHOCK; NAVIGATION; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY; PHYSICS; SURVEYING; TESTING

Es wird ein Verfahren zum Abgleich eines Inertialsensorbauteils mittels einer Kalibriereinrichtung vorgeschlagen, wobei das Inertialsensorbauteil wenigstens ein mikromechanisches Sensorelement sowie ein Gehäuse mit einer Haupterstreckungsebene, mit jeweils einer sich im wesentlichen parallel zur Haupterstreckungsebene erstreckenden Ober- und Unterseite und mit jeweils sich im wesentlichen senkrecht zur Haupterstreckungsebene erstreckenden Seitenflächen umfasst, wobei das Gehäuse das mikromechanische Sensorelement umgibt oder einschließt, wobei die Kalibriereinrichtung eine Sockeleinrichtung aufweist oder die Sockeleinrichtung mit der Kalibriereinrichtung verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, dass das Verfahren die nachfolgenden Schritte aufweist:-- in einem ersten Schritt zum Abgleich des Inertialsensorbauteils wird dessen Gehäuse relativ zu der in der Kalibriereinrichtung angeordneten und mit dieser verbundenen Sockeleinrichtung positioniert und/oder ausgerichtet,-- einem dem ersten Schritt nachfolgenden zweiten Schritt wird die Sockeleinrichtung und das Inertialsensorbauteil mittels der Kalibriereinrichtung durch Aufbringen einer definierten Beschleunigung in wenigstens einer Raumrichtung und/oder einer definierten Drehrate in wenigstens einer Raumrichtung abgeglichen und/oder kalibriert. A method for adjusting an inertial sensor component using a calibration device. The calibration device includes a base device or the base device is connected to the calibration device. The method includes: in a first step for adjusting the inertial sensor component, its housing is positioned and/or aligned relative to the base device that is arranged in the calibration device and connected thereto, in a second step following the first step, the base device and the inertial sensor component are adjusted and/or calibrated using the calibration device by applying a defined acceleration in at least one spatial direction and/or a defined rotation rate in at least one spatial direction.