Verfahren zur Herstellung einer Struktur auf einem Substrat sowie Vorrichtung zur Strukturherstellung mit einem derartigen Verfahren

• Main Authors: Meisch, Tobias, Schiele, Alexander, Kohler, Daria
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 13.10.2022
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; CINEMATOGRAPHY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS

Bei der Herstellung einer Struktur auf einem Substrat (35) wird zunächst das Substrat (35) mit einem Fotolack (37) beschichtet. Ein Belichtungs-Lackabschnitt (38) des Fotolacks (37) wird mit einer Schreibstrahlquelle (39) belichtet. Eine Strahlenrichtung eines Belichtungsstrahls (40) der Schreibstra...