Vorrichtung zum Messen von Abständen an mehreren Messpunkten auf einem Werkstück

• Main Authors: Roellinghoff, Frauke, Vietze, Laura, Weiß, Stephan, Dietz, Christoph
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 15.02.2024
• Subjects: MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; PHYSICS; TESTING

Eine nach dem Prinzip der optischen Kohärenztomografie arbeitende Vorrichtung (10) zum Messen von Abständen an mehreren Messpunkten (P1 bis P5), die auf einem Werkstück (28) auf einer Linie oder einer Fläche verteilt sind, weist eine polychromatische Lichtquelle (12) zur Erzeugung von Messlicht auf. Eine Kanalerzeugungseinrichtung (14) verteilt das Messlicht auf mehrere optische Kanäle (CH1 bis CH5) wobei jeder optischer Kanal (CH1 bis CH5) genau einem Messpunkt (P1 bis P5) zugeordnet ist. Einer Sammeloptik (26) fokussiert das in den optischen Kanälen (CH1 bis CH5) geführte Messlicht auf den jeweils zugeordneten Messpunkt (P1 bis P5). Ein Detektor (34) analysiert spektral Reflexlicht, das von dem Werkstück (28) reflektiert wurde, für jeden optischen Kanal (CH1 bis CH5) getrennt und gleichzeitig. Ein Strahlteiler (16) ist im Lichtweg zwischen der Lichtquelle (12) und der Sammeloptik (26) angeordnet und leitete das von der Lichtquelle (12) erzeugte Messlicht der Sammeloptik (26) und das von der Sammeloptik (26) kommende Reflexlicht dem Detektor (34) zu. Eine Auswerteeinrichtung (36) berechnet aus den von dem Detektor (32) gemessenen Spektren für jeden Kanal (CH1 bis CH5) einen Abstandswert. A device (10) operating according to the principle of optical coherence tomography (10) for measuring distances at a plurality of measuring points (P1 to P5), which are distributed on a line or surface on a workpiece (28), has a polychromatic light source (12) for generating measuring light. A channel generation apparatus (14) distributes the measuring light to a plurality of optical channels (CH1 to CH5), wherein each optical channel (CH1 to CH5) is allocated to exactly one measuring point (P1 to P5). A collecting optical unit (26) focuses the measuring light guided in the optical channels (CH1 to CH5) to the allocated measuring point (P1 to P5). A detector (34) spectrally analyses reflected light that was reflected by the workpiece (28) separately and simultaneously for each optical channel (CH1 to CH5). A beam splitter (16) is arranged in the light path between the light source (12) and the collecting optical unit (26) and guides the measuring light generated by the light source (12) to the collecting optical unit (26) and guides the reflected light coming from the collecting optical unit (26) to the detector (34). An evaluation apparatus (36) calculates a distance value for each channel (CH1 to CH5) from the spectra measured by the detector (32).