Plasmapolymerer siliziumorganischer Festkörper, insbesondere plasmacopolymere siliziumorganische Schicht, und beschichtetes Substrat sowie Verfahren zur Herstellung und Verwendung der plasma(co)polymeren siliziumorganischen Schicht

• Main Authors: Vissing, Klaus-Dieter, Brenner, Thorben
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 01.02.2024
• Subjects: ACYCLIC, CARBOCYCLIC OR HETEROCYCLIC COMPOUNDS CONTAININGELEMENTS OTHER THAN CARBON, HYDROGEN, HALOGEN, OXYGEN, NITROGEN,SULFUR, SELENIUM OR TELLURIUM; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; ORGANIC CHEMISTRY; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

Beschrieben wird ein plasmapolymerer, insbesondere plasmacopolymerer, siliziumorganischer Festkörper, insbesondere eine plasma(co)polymere siliziumorganische Schicht, wobei mindestens im mittels XPS gemessenen Kohlenstoff C1s-Spektrum des Festkörpers ein π-Shake-Up-Signal feststellbar ist und/oder umfassend aromatische Struktureinheiten, welche im IR-Spektrum nachweisbar sind. Ferner beschrieben wird die Verwendung einer erfindungsgemäßen plasma(co)polymeren Schicht sowie ein beschichtetes Substrat, umfassend ein Substrat und eine auf diesem Substrat aufgebrachte erfindungsgemäße Schicht. Beschrieben wird auch ein Verfahren zur Herstellung eines erfindungsgemäßen plasmapolymeren, insbesondere plasmacopolymeren, siliziumorganischen Festkörpers, insbesondere einer erfindungsgemäßen plasma(co)polymeren siliziumorganischen Schicht, und/oder zur Herstellung eines erfindungsgemäßen beschichteten Substrats.