Vorrichtung zum Reinigen von topfförmigen Hohlkörpern, insbesondere von Transportbehältern für Halbleiterwafer oder für Lithografie-Masken

• Main Author: Schienle, Frank
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 04.01.2024
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CLEANING; CLEANING IN GENERAL; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; PERFORMING OPERATIONS; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL; SEMICONDUCTOR DEVICES; TRANSPORTING

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung (10) zum Reinigen von topfförmigen Hohlkörpern (12), insbesondere von Transportbehältern (30) für Halbleiterwafer oder für Lithografie-Masken, wobei der Hohlkörper (12) eine Bodenwand (32) und eine oder mehrere Seitenwände (34), die eine Hohlkörperinnenfläche (33) bilden, und eine der Bodenwand (32) gegenüberliegende Öffnung (36) aufweist, die von einer Randfläche (38) der Seitenwand (34) umschlossen wird, umfasst. Die Vorrichtung (10) umfasst eine Auflagewand (20), auf welche der Hohlkörper (12) mit der Randfläche (38) aufgelegt werden kann, eine Reinigungseinrichtung (40), mit welcher ein erstes Reinigungsfluid zum Reinigen der Hohlkörperinnenfläche (33) abgegeben werden kann, wenn der Hohlkörper (12) mit der Auflagewand (20) verbunden ist, und eine in der Auflagewand (20) angeordnete oder mit der Auflagewand (20) befestigte Zuführeinrichtung (37) aufweist, mit welchem ein Spülungsfluid zur Randfläche (38) geführt werden kann, wobei die Zuführeinrichtung (37) ein bewegbares Element (39) umfasst, welches mit dem Spülungsfluid zur Randfläche (38) hin bewegbar ist. The present invention relates to an apparatus (10) for cleaning pot-shaped hollow bodies (12), in particular transport containers (30) for semiconductor wafers or for lithography masks, wherein the hollow body (12) comprises a base wall (32) and one or more side walls (34), which form a hollow body inner surface (33), and an opening (36) opposite the base wall (32), which is enclosed by an edge surface (38) of the side wall (34). The apparatus (10) comprises a support wall (20) on which the hollow body (12) can be placed with the edge surface (38), a cleaning device (10), with which a first cleaning fluid for cleaning the hollow body inner surface (33) can be dispensed when the hollow body (12) is connected to the support wall (20), and a supply device (37) arranged in the support wall (20) or fastened to the support wall (20), with which a rinsing fluid can be fed to the edge surface (38), wherein the supply device (37) comprises a movable element (38), which is movable towards the edge surface (38) with the rinsing fluid.