VERFAHREN

• Main Authors: Mueller, Ulrich, Koeniger, Andreas, Guhr, Daniel
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 25.05.2023
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; CINEMATOGRAPHY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS

Ein Verfahren zum Montieren eines Facettenspiegels (100) eines optischen Systems (4), bei dem Facetten (170) des Facettenspiegels (100) auf eine Feldebene (6) des optischen Systems (4) abgebildet werden, mit folgenden Schritten: a) Bestimmen (S1) von Positionen der Facetten (170) des Facettenspiegels (100) relativ zu Schnittstellen (104, 106, 108, 110, 112, 114) des Facettenspiegels (100), mit deren Hilfe der Facettenspiegel (100) an eine Tragstruktur (128) anbindbar ist, b) Berechnen (S2) einer Ist-Position (IP) eines sich für den Facettenspiegel (100) ergebenden Objektfelds (5') des optischen Systems (4) in der Feldebene (6), und c) Anordnen (S3) von Abstandshaltern (116, 118, 120, 122, 124, 126) zwischen den Schnittstellen (104, 106, 108, 110, 112, 114) und der Tragstruktur (128) derart, dass das Objektfeld (5') in der Feldebene (6) von der berechneten Ist-Position (IP) in eine Soll-Position (SP) verbracht wird. A method of assembling a facet mirror (100) of an optical system (4), in which facets (170) of the facet mirror (100) are imaged onto a field plane (6) of the optical system (4), including the following steps: a) determining (S1) positions of the facets (170) of the facet mirror (100) relative to interfaces (104, 106, 108, 110, 112, 114) of the facet mirror (100), with the aid of which the facet mirror (100) is able to be connected to a support structure (128), b) calculating (S2) an actual position (IP) of an object field (5') of the optical system (4) arising for the facet mirror (100) in the field plane (6), and c) arranging (S3) spacers (116, 118, 120, 122, 124, 126) between the interfaces (104, 106, 108, 110, 112, 114) and the support structure (128) so that the object field (5') in the field plane (6) is brought from the calculated actual position (IP) to a target position (SP).