Mikromechanisches Bauteil für eine Sensor- oder Mikrofonvorrichtung

• Main Authors: Mach, Sophielouise, Schmollngruber, Peter, Weber, Heribert
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 27.04.2023
• Subjects: MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY; PERFORMING OPERATIONS; PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS; TRANSPORTING

Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauteil für eine Sensor- oder Mikrofonvorrichtung mit einer an und/oder in einer Kaverne (98) verstellbar angeordneten Aktorelektrode (46) aus Silizium, und einer in der Kaverne (98) angeordneten Statorelektrode (52) aus Silizium, welche an einer Isolierschicht (70) befestigt ist, wobei in der Kaverne (98) Vakuum oder mindestens ein Gas vorliegt, wobei die Isolierschicht (70) die Kaverne (98) zumindest auf der von der Aktorelektrode (46) weg gerichteten Seite der Statorelektrode (52) begrenzt und aus mindestens einem elektrisch-isolierenden Material mit jeweils einer elektrischen Leitfähigkeit kleiner als 10-8S/cm und/oder einem spezifischen Widerstand größer als 108Ω·cm gebildet ist, und wobei die Statorelektrode (52) über mindestens eine durch die Isolierschicht (70) ragende Stützstruktur (72) aus Silizium derart an der Isolierschicht (70) befestigt ist, dass mindestens ein Zwischenspalt (100) mit Vakuum oder dem mindestens einen Gas der Kaverne (98) zwischen der Statorelektrode (52) und der Isolierschicht (70) vorliegt. The invention relates to a micromechanical component for a sensor or microphone device, comprising an actuator electrode (46), which is adjustably arranged on and/or in a cavity (98) and is made of silicon, and a stator electrode (52), which is arranged in the cavity (98) and is made of silicon and which is secured to an insulating layer (70). A vacuum or at least one gas is provided in the cavity (98), wherein the insulating layer (70) delimits the cavity (98) at least on the stator electrode (52) side facing away from the actuator electrode (46), and the stator electrode (52) is secured to the insulating layer (70) via at least one support structure (72) which protrudes through the insulating layer (70) and is made of silicon such that at least one intermediate gap (100) with a vacuum or the at least one gas of the cavity (98) is provided between the stator electrode (52) and the insulating layer (70).