Verfahren und Vorrichtung zum Ermitteln einer Wahrscheinlichkeitsverteilung von Prozessparametern

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Ermitteln einer Wahrscheinlichkeitsverteilung von mindestens einem Prozessparameter eines Herstellungsverfahrens für MEMS-Vorrichtungen, wobei die MEMS-Vorrichtungen mindestens eine schwingfähige Komponente mit mindestens einer Schwingfrequenz aufweisen. Für...

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Main Authors Wenzel, Matthias, Jarmolowitz, Fabian, Kuhlmann, Nils Felix, Lassl, Andreas, Kuehnel, Matthias, Schick, Michael, Degenfeld-Schonburg, Peter
Format Patent
LanguageGerman
Published 16.03.2023
Subjects
MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES
MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
PERFORMING OPERATIONS
PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
TRANSPORTING
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Summary:Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Ermitteln einer Wahrscheinlichkeitsverteilung von mindestens einem Prozessparameter eines Herstellungsverfahrens für MEMS-Vorrichtungen, wobei die MEMS-Vorrichtungen mindestens eine schwingfähige Komponente mit mindestens einer Schwingfrequenz aufweisen. Für eine Vielzahl von mittels des Herstellungsverfahrens hergestellten MEMS-Vorrichtungen wird die mindestens eine Schwingfrequenz gemessen. Eine Recheneinrichtung gibt die gemessenen Schwingfrequenzen in ein trainiertes Inverse-Unsicherheitsquantifizierungs-Modell ein. Die Recheneinrichtung ermittelt die Wahrscheinlichkeitsverteilung des mindestens einen Prozessparameters als Ausgangsdaten des Inverse-Unsicherheitsquantifizierungs-Modells.
Bibliography:Application Number: DE202110210161