SUBSTRAT-PROZESSKAMMER UND PROZESSGASSTRÖMUNGSABLENKER ZUR VERWENDUNG IN DER PROZESSKAMMER

• Main Authors: Huber, Thomas, Illemann, Christian, Male, Mathias, Fiedler, Olaf, Künle, Matthias
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 20.01.2022
• Subjects: CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

Eine Prozesskammer zur Prozessierung eines Substrats umfasst einen Kammerkörper, der einen inneren Substratprozessierungsbereich definiert. Die Prozesskammer umfasst ferner einen Substratträger zum Halten eines Substrats und einen Vorwärmring mit einer zentralen Öffnung, die so bemessen ist, dass sie um das auf dem Substratträger zu platzierende Substrat herum angeordnet ist. Ein Prozessgaseinlass ist so konfiguriert, dass er Prozessgas in einer seitlichen Richtung leitet, um über den Vorwärmring und über das auf dem Substratträger zu platzierende Substrat zu strömen. Ein Prozessgasauslass ist gegenüber dem Prozessgaseinlass angeordnet. Ein Prozessgasströmungsablenker umfasst einen radial äußeren Befestigungsabschnitt und einen radial inneren, sich in radialer Richtung erstreckenden, blattförmigen Prozessgasablenkungsabschnitt, wobei der radial innere, blattförmige Prozessgasablenkungsabschnitt als Ringsegment ausgebildet ist. Der radial innere, blattförmige Prozessgasablenkungsabschnitt ist oberhalb des Prozessgaseinlasses angeordnet und so dimensioniert, dass er mit dem Vorwärmring überlappt, wobei der Grad der Überlappung zwischen dem Vorwärmring und dem Prozessgasströmungsablenker in radialer Richtung mindestens 1/2 der radialen Abmessung des Vorwärmrings beträgt. A processing chamber includes a chamber body, a substrate support configured to hold a substrate in place, and a pre-heat ring having a central opening sized to be disposed around the substrate. A process gas inlet is configured to direct process gas in a lateral direction to flow over the pre-heat ring and the substrate. A process gas flow deflector includes a radially outer mounting portion and a radially inner blade-shaped process gas deflection portion extending in a radial direction. The radially inner blade-shaped process gas deflection portion is shaped as a ring segment. The radially inner blade-shaped process gas deflection portion is disposed above the process gas inlet and dimensioned to overlap with the pre-heat ring, wherein a degree of overlap between the pre-heat ring and process gas flow deflector in the radial direction is at least ½ of the radial dimension of the pre-heat ring.