Anordnung eines optischen Spiegels

• Main Authors: Del Gaizo, Steven A, Kuenlin, Vincent
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 20.06.2024
• Subjects: MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICS; TRANSPORTING

Anordnung eines optischen Spiegels (210), die umfasst:einen Spiegel (210) mit einer reflektierenden Oberfläche (215) und mit einer hinteren Oberfläche (405), die der reflektierenden Oberfläche (215) gegenüberliegt, wobei der Spiegel (210) dafür konfiguriert ist, um eine erste Achse (x) oder um eine zweite Achse (y), die senkrecht zu der ersten Achse (x) ist, gekippt zu werden;eine invertierte lichtemittierende Vorrichtung (LED) (410) eines Rückkopplungssensors, die dafür ausgelegt ist, Licht auf die hintere Oberfläche (405) des Spiegels (210) zu emittieren;vier Fotodioden (420a, 420b, 420c, 420d) des Rückkopplungssensors, die dafür ausgelegt sind, reflektiertes Licht zu empfangen, das von der hinteren Oberfläche (405) des Spiegels (210) kommt, die das durch die invertierte LED (410) emittierte Licht reflektiert, wobei jede der vier Fotodioden (420a, 420b, 420c, 420d) in einem anderen von vier Quadranten angeordnet ist, die durch die erste Achse (x) und durch die zweite Achse (y) und durch die invertierte LED (410), die in einem Mittelpunkt der vier Fotodioden (420a, 420b, 420c, 420d) angeordnet ist, definiert sind;Aktuatoren (220), die dafür konfiguriert sind, den Spiegel (210) auf der Grundlage von für die Aktuatoren (220) bereitgestellten Steuersignalen um die erste Achse (x) oder um die zweite Achse (y) zu kippen; undeinen Controller (230), der dafür konfiguriert ist, für die Aktuatoren (220) die Steuersignale bereitzustellen, um den Spiegel (210) mit einem gewünschten Kippwinkel (211) um die erste Achse (x) und mit einem gewünschten Kippwinkel (212) um die zweite Achse (y) zu orientieren; dadurch gekennzeichnet , dassder Controller (230) dafür konfiguriert ist, den Kippwinkel (211) des Spiegels (210) um die erste Achse (x) in Abhängigkeit einer ersten Differenz D1 und den Kippwinkel (212) des Spiegels (210) um die zweite Achse (y) in Abhängigkeit einer zweiten Differenz D2 zu bestimmen, wobei gilt:D1=(PDc+PDd)−(PDa+PDb)undD2=(PDb+PDd)−(PDa+PDc);wobei es sich bei PDa, PDb, PDc und PDd um die Intensität des von der jeweiligen Fotodioden (420a, 420b, 420c, 420d) empfangenen reflektierten Lichts handelt. An optical mirror assembly includes a mirror with a reflective surface and a back surface, opposite the reflective surface. The mirror is tilted around a first axis or a second axis, perpendicular to the first axis. The optical mirror assembly also includes an inverted light emitting device (LED) of a feedback sensor arranged to emit light onto the back surface of the mirror, and four photodiodes of the feedback sensor arranged to receive reflected light resulting from the back surface of the mirror reflecting the light emitted by the inverted LED. Each of the four photodiodes is disposed in a different one of four quadrants defined by the first axis and the second axis and the inverted LED being disposed at a center of the four photodiodes.