SYSTEM ZUM DETEKTIEREN UND ÜBERWACHEN EINES RISSES FÜR EINEN INTEGRIERTEN SCHALTKREIS

• Main Authors: Polomoff, Nicholas A, Xu, Dewei, Breuer, Dirk, Hunt-Schroeder, Eric D, Wunder, Bernhard J
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 07.10.2021
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

Ausführungsformen der Offenbarung stellen ein System zum Detektieren und Überwachen eines Risses (130) in einem integrierten Schaltkreis (integrated circuit; IC) (102) bereit, umfassend: wenigstens eine elektrisch leitende Umfangslinie (perimeter line; PLINE) (120, 122, 124), die sich um eine Schutzstruktur (112, 114), die in einer inaktiven Region (108) des IC (102) gebildet ist, erstreckt und von dieser elektrisch isoliert ist, wobei eine aktive Region (106) des IC (102) innerhalb der Schutzstruktur (112, 114) umschlossen ist; einen Schaltkreis (126) zum Abtasten einer Änderung einer elektrischen Eigenschaft der wenigstens einen PLINE (120, 122, 124)), wobei die Änderung der elektrischen Eigenschaft auf ein Vorhandensein eines Risses (130) in der inaktiven Region (108) des IC (102) hinweist; und eine Verbindungsstruktur zum elektrischen Koppeln jeder PLINE mit dem Abtastschaltkreis. Embodiments of the disclosure provide a system for detecting and monitoring a crack in an integrated circuit (IC), including: at least one electrically conductive perimeter line (PLINE) extending about, and electrically isolated from, a protective structure formed in an inactive region of the IC, wherein an active region of the IC is enclosed within the protective structure; a circuit for sensing a change in an electrical characteristic of the at least one PLINE, the change in the electrical characteristic indicating a presence of a crack in the inactive region of the IC; and a connecting structure for electrically coupling each PLINE to the sensing circuit.