VERFAHREN ZUR POSITIONIERUNG VON SONDENSPITZEN IN BEZUG AUF PADS

• Main Authors: Fehrmann, Frank, Giessmann, Sebastian, Berg, Ingo, Chen, Chien-Hung
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 18.11.2021
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; MEASURING; MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TESTING

Ein Verfahren zur Positionierung von Sondenspitzen in Bezug auf Pads umfasst: Fokussieren auf jede der Sondenspitzen in einem ersten Bild, betrachtet durch ein Mikroskop, und Sammeln der Koordinaten der entsprechenden Sondenspitze bezüglich eines ersten Referenzpunkts in dem ersten Bild; Fokussieren auf jedes der Pads in einem zweiten Bild, betrachtet durch ein Mikroskop, und Sammeln der Koordinaten des entsprechenden Pads in Bezug auf einen zweiten Referenzpunkt in dem zweiten Bild, wobei eine Relativposition des zweiten Referenzpunkts zu dem ersten Referenzpunkt vorgegeben wird; Abgleichen der Pads mit den Sondenspitzen, wenn die Anzahl der Sondenspitzen und der Pads gleich sind, während ein Maximalwert der Abstände, die zwischen jeder der Sondenspitzen und dem entsprechenden Pad berechnet werden, minimiert wird; und Bewegen der Sondenspitzen derart, dass sie die Pads bei minimiertem Maximalwert berühren. A method of positioning probe tips relative to pads includes: focusing on each of the probe tips in a first image as viewed by a microscope and collecting the coordinates of the corresponding probe tip relative to a first reference point in the first image; focusing on each of the pads in a second image as viewed by the microscope and collecting the coordinates of the corresponding pad relative to a second reference point in the second image, a relative position of the second reference point to the first reference point being predetermined; matching the pads with the probe tips when the quantity of the probe tips and the pads are equal while minimizing a maximum value of the distances calculated between each of the probe tips and the corresponding pad; and moving the probe tips to touch the pads with the maximum value minimized.