LADUNGSTRÄGERSTRAHLVORRICHTUNG

• Main Authors: Uemoto, Atsushi, Asahata, Tatsuya, Muraki, Ayana
• Format: Patent
• Language: German
• Published: 25.03.2021
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

Um eine schnelle automatisierte Mikroprobennahme zu erreichen, ist eine Ladungsträgerstrahlvorrichtung vorgesehen, die so konfiguriert ist, dass sie automatisch ein Probenstück aus einer Probe herstellt, wobei die Ladungsträgerstrahlvorrichtung einschließt: ein optisches System zur Bestrahlung mit einem geladenen Teilchenstrahl, das so konfiguriert ist, dass es einen geladenen Teilchenstrahl ausstrahlt; einen Probentisch, der so konfiguriert ist, dass er die Probe bewegt, die auf dem Probentisch platziert wird; eine Probenstück-Transporteinheit, die so konfiguriert ist, dass sie das Probenstück, das von der Probe getrennt und extrahiert wurde, hält und befördert; eine Halterbefestigungsbasis, die so konfiguriert ist, dass sie einen Probenstückhalter hält, zu dem das Probenstück transportiert wird; und einen Rechner, der konfiguriert ist, um eine Positionssteuerung in Bezug auf ein zweites Ziel durchzuführen, basierend auf einem Maschinenlernmodell, in dem erste Informationen einschließlich eines ersten Bildes eines ersten Ziels gelernt werden, und auf zweiten Informationen einschließlich eines zweiten Bildes, das durch Bestrahlung mit dem geladenen Teilchenstrahl erhalten wird. To accomplish fast automated micro-sampling, provided is a charged particle beam apparatus, which is configured to automatically fabricate a sample piece from a sample, the charged particle beam apparatus including: a charged particle beam irradiation optical system configured to radiate a charged particle beam; a sample stage configured to move the sample that is placed on the sample stage; a sample piece transportation unit configured to hold and convey the sample piece separated and extracted from the sample; a holder fixing base configured to hold a sample piece holder to which the sample piece is transported; and a computer configured to perform position control with respect to a second target, based on a machine learning model in which first information including a first image of a first target is learned, and on second information including a second image, which is obtained by irradiation with the charged particle beam.